机电工程系的 Tomomi Ohno、Atsushi Kumazawa 和 Kensei Rokumaya 在日本机械工程学会东海分会第 57 届学生毕业研究演讲会上获得最佳演讲奖

获奖者

机电工程系 ()

大野友美

熊泽敦

六间屋剑圣

奖项名称

日本机械工程师学会东海分会第 57 届学生毕业研究报告东海工程综合体 2026 (TEC26)

最佳演示奖

()

奖项详情

Tomoaki Ohno“半导体清洁设备和分配器中液滴飞行行为的调查研究”

近年来，随着半导体器件的小型化，需要更先进的清洗技术。然而，单晶圆清洁设备中液滴从晶圆边缘飞出的行为尚不完全清楚。在这项研究中，我们研究了从单晶圆清洁装置飞出的液滴的直径和速度等特征的分布。此外，我们使用分配器和电磁阀进行了单液滴飞行实验，并研究了再现从晶圆边缘飞行的液滴特性的可能性。

Atsushi Kumazawa“半导体清洗设备中飞滴变形的数值模拟”

在半导体制造过程中清洁晶片时，众所周知，清洁设备内的流动行为会影响水印的形成。然而，清洗过程中液滴从晶圆边缘飞出的行为尚不完全清楚。在这项研究中，我们关注从晶圆边缘飞出的液滴，并通过改变网格分辨率和界面捕获求解器进行数值计算。因此，我们组织并提出了重现飞行液滴行为所需的计算条件。

Rokumaya Kensei“开发高速光弹性方法，用于定量评估支架取出对模拟血管施加的应力场”

近年来，作为脑血管被血块闭塞的脑梗塞的治疗方法，使用支架取出器物理去除血块的方法已经引起人们的关注。然而，存在由于在血栓去除期间施加到血管壁的应力而可能发生并发症的问题。在这项研究中，我们使用模拟血管进行高速光弹性测量，以可视化血栓清除过程中的血管应力场。此外，通过对获得的数据进行三维重建，我们能够可视化三维应力分布。

获奖者的评论

大野朋美

我非常荣幸获得最佳演讲奖。我要向我的导师 Shinji Tamano 教授、Masakazu Muto 助理教授以及实验室的其他所有人表示感谢，感谢他们在准备本报告时提供的宝贵建议和合作。我想借此机会向你们表示衷心的感谢。我们还要感谢我们的联合研究伙伴 SCREEN Holdings Co, Ltd 的所有人，感谢他们在开展这项研究过程中给予的大力合作和宝贵建议。我想用这个奖项作为进一步从事研究活动的鼓励。

熊泽敦

我非常荣幸获得最佳演讲奖。在进行这项研究的过程中，我得到了我的导师玉野真司教授和武藤正和助理教授以及项目助理Tomohiro Nimura教授和实验室所有人的指导和建议。我们还要感谢我们的联合研究伙伴 SCREEN Holdings Co, Ltd 的所有人，感谢他们在开展这项研究过程中给予的大力合作和宝贵建议。我想借此机会向你们表示衷心的感谢。有了这个奖项的鼓励，我们将继续致力于我们的研究活动。

六间屋剑圣

我非常荣幸获得最佳演讲奖。感谢我的导师武藤正和助理教授、玉野真司教授、名古屋市立大学神经外科教授西川佑介以及实验室各位的宝贵意见和合作。我想借此机会向你们表示衷心的感谢。有了这个奖项的鼓励，我想进一步从事研究活动。