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等离子体是向气体赋予能量，部分气体分离（电离）成离子和电子的状态，也称为继固、液、气之后的物质状态。我们正在致力于建立利用等离子体，通过释放电能，人工产生低温等离子体，对材料表面进行处理，合成新型功能材料的材料加工技术。
在等离子材料工艺中，我们重点研究使用一种称为“溅射”的技术在基板上涂覆功能薄膜。为了提高硬质保护材料薄膜和金属氧化物薄膜的功能性，我们正在研究施加高功率脉冲来产生高密度溅射等离子体，将构成薄膜材料的原子和分子转换成离子并进行涂覆等方法。此外，我们的目标是利用多脉冲溅射等离子体开发更高效、更可持续的溅射材料制造技术。